特許
J-GLOBAL ID：200903001223852817
フィルタ基板異物除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 勇治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-019999
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205012
出願日： 1994年01月20日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【構成】 フィルタ基板Wを載置可能な載置台11の上方にて研磨テープTを連続移送させると共に研磨テープを折返案内して形成された異物除去部30をもつテープ移送機構12と、異物除去部30の研磨テープを凸球面状に形成可能な球体42を含む押圧部37と、フィルタ基板上に存在する異物Mの位置を検出する異物位置検出部49とを具備してなる。【効果】 研磨テープは球体により凸球面状に形成され、異物は研磨テープの凸球面状に形成された頂点部分により研磨除去されることになるから、微小突起状からなる異物であっても良好に局部的に研磨除去することができる。
請求項（抜粋）：
フィルタ基板を載置可能な載置台と、該載置台の上方にて研磨テープを連続移送させると共に該研磨テープを折返案内して形成された異物除去部をもつテープ移送機構と、該異物除去部の研磨テープを凸球面状に形成可能な球体を含む押圧部と、該載置台又はテープ移送機構を前後及び左右方向に移動させる移動機構と、該フィルタ基板上に存在する異物の位置を検出する異物位置検出部と、該載置台又はテープ移送機構を該異物と異物除去部とが対向する位置に移動制御する位置制御部とを具備したことを特徴とするフィルタ基板異物除去装置。
IPC (2件)：
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