放電励起型ガスレーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128785
公開番号（公開出願番号）：特開平5-327070
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、主放電用電極間の空間を一様にかつ十分に予備電離すると共に、予備電離用電極の消耗を抑制することのできる放電励起型ガスレーザ装置を提供することにある。【構成】本発明の放電励起型ガスレーザ装置は、予備電離用電極3,4の近傍にコロナ放電用電極6を配置し、予備電離用電極3,4間の放電に先立ちコロナを発生させて、予備電離用電極3,4間の空間をあらかじめ電離することを特徴とする。これにより、予備電離用電離3,4の放電は一様な広がりを有するマルチアーク放電となり、一様な紫外光が発生され予備電離も一様なものとなる。また、マルチアーク放電の場合、電極表面に与える衝撃も小さいので、電極の消耗が抑制され、金属粉が減少すると共に、予備電極の間隔が一定に保たれる。

請求項（抜粋）：

ガスレーザ管内に配置された1対の主放電用電極と、前記主放電用電極間のレーザガスを紫外光により予備電離するために前記主放電用電極の近傍に配置された少なくとも1対の予備電離用電極と、前記予備電離用電極間のレーザガスをコロナにより電離するために前記予備電離用電極の近傍に配置された1対のコロナ放電用電極と、前記予備電離用電極間の放電の前に前記コロナ放電用電極間でコロナ放電を行わせる放電制御手段とを備える放電励起型ガスレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/038 , H01S 3/0977

FI (2件)：

H01S 3/03 B , H01S 3/097 E

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-054978
特開昭62-147788
特開昭63-021883

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審査官引用 (4件)

特開平2-054978
特開昭62-147788
特開昭63-021883

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