特許
J-GLOBAL ID：200903001225300501
静電容量型圧力センサ及びその製造方法並びに血圧計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075571
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 陽極接合時におけるダイアフラムとガラス基板の固着を防ぐ。【構成】 シリコンウエハをエッチングしてダイアフラム2をフレーム1に形成し、ダイアフラム2下面には可動電極5を形成する。ガラス製のカバー3には、ダイアフラム2と対向する領域には、固定電極9とその周囲に円環状の凹部8を形成する。ダイアフラム2と固定電極9及び凹部8とを対向させるようにして、フレーム1とカバー3とを重ね合わせ陽極接合をする。【効果】 陽極接合時に可動電極と固定電極間の静電引力によってダイアフラムがカバーの方向に撓んだとしても、固定電極周囲に凹部があるため、ダイアフラムは固定電極周囲のガラス領域と接触せず、固着しない。
請求項（抜粋）：
圧力変化によって撓み量が変化するダイアフラムを設けたシリコン基板と、固定電極を設けたガラス基板とを接合させてダイアフラムと固定電極とを対向させ、ダイアフラムに形成された可動電極及び固定電極間の静電容量から圧力を検出する静電容量型圧力センサにおいて、前記ガラス基板の、ダイアフラムと対向する領域のうち固定電極が存在する領域のダイアフラムとの距離が、固定電極が存在しない領域のダイアフラムとの距離よりも小さいことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 1/14
, A61B 5/022
, H01L 29/84
