耐酸化、耐摩耗性硬質被膜

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056463
公開番号（公開出願番号）：特開平7-268606
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】【目的】金属工具の耐摩耗性と耐酸化性を合わせ持つ硬質被膜を提供する。【構成】金属材料上に最近接部から表面に向かって第1層から第4層まで形成された積層被膜であって、第1層と第3層がTiNで、第2層と第4層がTiAlNであり、該TiAlNの中でAlが40〜65モル%を占め、該積層被膜の中で各層の厚み割合が第1層が10〜15%、第2層が65〜80%、第3層が5〜10%、第4層が5〜10%に構成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

金属材料上に最近接部から表面に向かって第1層から第4層まで形成された積層被膜であって、第1層と第3層がTiNで、第2層と第4層がTiAlNであり、該TiAlNの中でAlが40〜65モル%を占め、該積層被膜の中で各層の厚み割合が第1層が10〜15%、第2層が65〜80%、第3層が5〜10%、第4層が5〜10%に構成されていることを特徴とする耐酸化、耐摩耗性硬質被膜。

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