特許
J-GLOBAL ID：200903001229590369

脱気装置、脱気方法及び液体供給装置

発明者：
豊島 範夫

豊島 範夫 について

, 
盛満 麻紀

盛満 麻紀 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-208020
公開番号（公開出願番号）：特開2005-058842
出願日： 2003年08月20日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】この発明は、液体に含まれた気泡を分離除去する脱気装置を提供することにある。【解決手段】液体に含まれた気体を除去する脱気装置において、容器72と、この容器の上部から内部に上記液体を供給する供給分岐管22aと、上記容器の底部に設けられ容器内に供給された液体を流出させる供給分岐管22aと、上記容器内に設けられ上記供給部から供給されて上記供給分岐管22aから流出する液体に含まれる気泡を付着させて分離する気体分離部材73と、この気体分離部材に付着して上記容器内を上昇する気泡をこの容器から排出させる排気管74とを具備する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
液体に含まれた気体を除去する脱気装置において、 容器と、 この容器の上部から内部に上記液体を供給する供給部と、 上記容器の底部に設けられ容器内に供給された液体を流出させる流出部と、 上記容器内に設けられ上記供給部から供給されて上記流出部から流出する液体に含まれる気泡を付着させて分離する気体分離部材と、 この気体分離部材に付着して上記容器内を上昇する気泡をこの容器から排出させる排気部と、 を具備したことを特徴とする脱気装置。
IPC (3件)：
B01D19/00 ,  B01J4/00 ,  H01L21/027
FI (4件)：
B01D19/00 B ,  B01D19/00 G ,  B01J4/00 103 ,  H01L21/30 564Z
Fターム (11件)：
4D011AA01 ,  4D011AA08 ,  4D011AD02 ,  4G068AA01 ,  4G068AB11 ,  4G068AC05 ,  4G068AD40 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046JA22 ,  5F046JA27
引用特許：
審査官引用 (2件)

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