特許
J-GLOBAL ID：200903001229766246
熱アーチ状ビームマイクロ電子機械装置および関連の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-513300
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518677
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：
【要約】大きい力および変位を提供するが、電力消費量は比較的小さいMEMSアクチュエータが提供される。MEMSアクチュエータは、マイクロ電子基板、基板上の互いに間隔を置いて配置されているサポート、および、互いに間隔を置いて配置されているサポートの間で延びている金属アーチ状ビームを含む。MEMSアクチュエータは、ビームがさらにアーチ状に湾曲するようにアーチ状ビームを加熱する加熱器も含む。加熱器から金属アーチ状ビームへ効率的に熱を伝達するために、金属アーチ状ビームは加熱器に跨って位置し、加熱器から僅かながら間隔を置いて配置されている。それ自体として、MEMSアクチュエータは、加熱器により発生される熱を、金属アーチ状ビームの運動に効率的に変換する。1つ以上のMEMSアクチュエータを含み、その効率的な操作特性を利用する、例えばリレー、スイッチングアレイおよび弁などの、他のMEMS装置のファミリーも提供される。さらに、MEMSアクチュエータを製造する方法がさらに提供される。
請求項（抜粋）：
マイクロ電子基板(32)と、 互いに対向して位置する第1の端部と第2の端部との間で延びている加熱器(38)と、ここで、該第1の端部と第2の端部は前記マイクロ電子基板(32)上にあり、 前記マイクロ電子基板(32)上に互いに間隔を置いて配置されているサポート(34)と を含んでなるマイクロ電子機械的構造体であって、 前記マイクロ電子機械的構造体が前記互いに間隔を置いて配置されているサポート(34)の間で延びている金属アーチ状ビーム(36)を特徴とし、該金属アーチ状ビーム(36)は、前記加熱器(38)により発生される熱により該金属アーチ状ビーム(36)がさらに湾曲するように、前記加熱器(38)を跨って延び、かつ、前記加熱器(38)から間隔を置いて配置されている、マイクロ電子機械的構造体。
IPC (6件)：
H01H 61/00
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, F15C 5/00
, H04Q 1/16
, H01H 65/00
H01H 61/00 Z
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, F15C 5/00
, H04Q 1/16
, H01H 65/00
