特許
J-GLOBAL ID：200903001230044564
単結晶炭化ケイ素の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148834
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319997
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：
【要約】【目的】 スライシングの手間と時間を省ける上、スライシングによる結晶性の悪化を防止できるようにした単結晶炭化ケイ素の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 粉末状の炭化ケイ素4を加熱して昇華させ、炭化ケイ素単結晶からなる基板上に再結晶させて炭化ケイ素6を成長させる単結晶炭化ケイ素の製造方法において、炭化ケイ素6の成長方向を規制する板5を設け、板の面方向に炭化ケイ素を成長させる。
請求項（抜粋）：
粉末状の炭化ケイ素を加熱して昇華させ、炭化ケイ素単結晶からなる基板上に再結晶させて炭化ケイ素を成長させる単結晶炭化ケイ素の製造方法において、炭化ケイ素の成長方向を規制する板を設け、炭化ケイ素を任意の厚さの板状に成長させることを特徴とする単結晶炭化ケイ素の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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