特許

J-GLOBAL ID：200903001230566803

基板保持部材及び露光装置

発明者： 町野 勝弥
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-279782
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102453
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 露光条件の変更により基板が変更された場合に、当該基板に適合する基板保持部材を選択するすることを可能にする基板保持部材を提供する。【解決手段】 感光基板Wを保持する基板保持部材20は、基準平面内で移動する基板テーブル18に着脱可能で、少なくとも読み出し可能な各種情報が記憶された情報記憶部20Aを有する。これによれば、情報記憶部20Aに、例えば基板保持部材の種類、適合する基板の特性等の情報が予め記憶させ、この情報を読み出すことにより、当該基板保持部材20の種類等の判別が可能となり、これにより露光条件が変更された場合であっても、適合する基板保持部材20Aを選択し、交換することが可能になる。

請求項（抜粋）：

マスクに形成されたパターンの像を感光基板上に転写する露光装置に用いられ、前記感光基板を保持する基板保持部材であって、基準平面内で移動する基板テーブルに着脱可能で、少なくとも読み出し可能な各種情報が記憶された情報記憶部を有する基板保持部材。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 503 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B