特許

J-GLOBAL ID：200903001230602575

荷電粒子線露光装置の調整方法

発明者： 池田 順司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-177757
公開番号（公開出願番号）：特開2006-005034
出願日： 2004年06月16日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】 分割露光転写方式の荷電粒子線露光装置において、簡単な手法により、照明光学系からのレチクルへの照明光のランディング角を調整する方法を提供する。【解決手段】 偏向器の偏向量を増減させて、増減させた偏向量と、散乱線吸収開口により吸収された荷電粒子線の電流量の関係を示すと、図2に示したようなグラフが得られる。(a)は、レチクルを通過した荷電粒子線が、散乱線吸収開口の位置で光軸と交わっているときのもので、偏向器に新たに加えた偏向量がゼロの位置に対して左右対称になる。この性質を利用して、(a)の状態が得られるように、照明光学系を調整すれば、照明光のレチクルへのランディング角をゼロとし、垂直入射させることができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

分割露光転写方式の荷電粒子線露光装置において、照明光学系からのレチクルへの照明光のランディング角を調整する方法であって、投影光学系に入射した前記照明光の偏向支点の光軸方向位置が、前記投影光学系中に設けられた散乱線吸収開口の光軸方向位置に一致するように照明光学系を調整することを特徴とする荷電粒子線露光装置の調整方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (4件)：

H01L21/30 541V ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/147 C ,  H01J37/305 B

Fターム (6件)：

5C033GG03 ,  5C034BB07 ,  5F056AA06 ,  5F056AA22 ,  5F056CB40 ,  5F056CC01