特許

J-GLOBAL ID：200903001230696073

照明光学装置、露光装置および露光方法

発明者： 工藤 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-341337
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142387
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 簡易な構成にしたがって、被照射面上の直交する二方向で互いに異なる照明条件を実現することのできる照明光学装置。【解決手段】 光源(1)からの光束に基づいて所定の光量分布の二次的光源を形成するための内面反射型のオプティカルインテグレータ(6)を備え、このオプティカルインテグレータを介した光束によって被照射面(8,10)を照明する照明光学装置。光源とオプティカルインテグレータとの間の光路中に配置されて、オプティカルインテグレータに入射する光束の角度分布を変化させて二次的光源の光量分布を変化させるために、所定面(4)における光束の位置を光軸に対して全体的に偏心させる光束偏心手段(3)を備えている。

請求項（抜粋）：

光源からの光束に基づいて所定の光量分布の二次的光源を形成するための内面反射型のオプティカルインテグレータを備え、該オプティカルインテグレータを介した光束によって被照射面を照明する照明光学装置において、前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置されて、前記オプティカルインテグレータに入射する光束の角度分布を変化させて前記二次的光源の光量分布を変化させるために、所定面における光束の位置を光軸に対して全体的に偏心させる光束偏心手段を備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (11件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046BA04 ,  5F046CB10 ,  5F046CB13 ,  5F046CB19 ,  5F046CB23 ,  5F046DA30