静電吸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058422
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275706
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】安価に絶縁膜の信頼性を向上を図ることができる静電吸着電極を提供することにある。【構成】アルミ製の電極10上にAl2O3にTiO2を添加した絶縁材料をArガス等の不活性ガスにより約200Torrに減圧した還元雰囲気中でプラズマ溶射して絶縁膜11を形成して静電吸着電極12を構成することにより、絶縁膜11の絶縁破壊電圧、誘電率を従来の大気中でプラズマ溶射する方法に比べて高くでき大きい吸着力を得ることができる。

請求項（抜粋）：

プラズマにより処理されるウエハを絶縁膜との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着装置において、電極上に絶縁膜をArガスにより減圧した還元雰囲気中で絶縁材料をプラズマ溶射して形成したことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (22件)

特開昭62-286247
特開平3-204924
特開平4-141571

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