特許
J-GLOBAL ID：200903001233593933
マイクロ波プラズマ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-094817
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252100
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 安定にプラズマを生成せしめ得るマイクロ波プラズマ装置を提供する。【構成】 プラズマ生成室1の上壁中央には石英ガラスからなるマイクロ波導入窓1bにて封止したマイクロ波導入口1cを備え、このマイクロ波導入窓1bよりマイクロ波を導入し、ガス放電を行ってプラズマを生成するようになしてある。そしてプラズマ生成室1の各壁がこのプラズマの直接照射を受けないように防着筒1eを備え、この取り付けはプラズマ引き出し窓1dを下方に取り付けネジ1jによりに固定して行ってある。この防着筒1eとプラズマ生成室1上壁との間には、マイクロ波導入窓1bと防着筒1eとの間隙が均等になるように厚さ2mmの石英からなるスペーサ1fが3個均等配置してある。
請求項（抜粋）：
その内部に防着筒が配設されたプラズマ生成室へ、マイクロ波導入窓よりマイクロ波を導入し、ガス放電を利用してプラズマを発生させ、該プラズマを使用して基板表面に処理を行うマイクロ波プラズマ装置において、前記防着筒と前記マイクロ波導入窓との間隙を所定値に保持する間隙保持部材を備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/302
, H01L 21/205
