特許
J-GLOBAL ID：200903001238745219
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-064292
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273110
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 測定対象物の電気的特性や状態変化にかかわらず、試料表面の凹凸像を高分解能で得られる走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 発振器2で所定の周波数の交流電圧(変調電圧)を発生し、この交流電圧を試料1と探針3との間に印加する。試料1と探針3との間のトンネル電流値を電圧信号に変換し、乗算器6により、もとの変調電圧との積信号を得る。この積信号をローパスフィルタ7で処理し、積信号のうち変調電圧と同期した成分を求め、トンネル電流の振幅値を抽出する。この振幅値で電極3と試料1との距離を制御するとともに、振幅値を試料1の凹凸を表わすものとして出力する。
請求項（抜粋）：
試料と探針との間のトンネル電流を検出する走査型トンネル顕微鏡において、所定の周期で変化する所定波形の変調電圧を前記試料と前記探針との間に印加する電圧印加手段と、前記トンネル電流のうち前記変調電圧に同期した成分の振幅を求める検出手段と、前記振幅に応じて前記試料と前記探針との間の距離を制御する制御手段とを有することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
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