特許
J-GLOBAL ID：200903001241002510
真空室のドア装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-289264
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130239
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 真空室例えば真空処理装置のカセット室において、カセット室内が大気圧、真空雰囲気のどちらでもウエハの検出を正確に行えるようにすること。【構成】 ドア4を昇降自在なドア保持部5にドア4の厚さ方向にコイルバネ44を組み合わせて少しだけ移動できるように取り付け、ドア4がカセット室3の搬入出口31の前に位置するところまでドア保持部5を上昇させた後、カセット室3側に固定されているエアシリンダ7により、ドア4をドア保持部5に対してカセット室3側に相対的に押圧するように構成すると共に、ドア保持部5に光センサ例えば発光部8a、8bを設け、ドア4のシール時の傾きが発光部8a、8bの光軸の向きに影響しないように構成する。
請求項（抜粋）：
複数の被処理基板を収納したカセットが搬入される真空室を開閉するためのドア装置において、ドアを厚さ方向に移動自在に保持すると共に、前記ドアが前記真空室における搬入出口に対向する位置と前記搬入出口から退避した位置との間で移動するように構成したドア保持部と、前記ドアが搬入出口に対向する位置にあるときに、ドア保持部の位置を規制する規制手段と、前記ドアを真空室側に押圧して前記搬入出口を密閉すると共に、ドアを開くときには、ドアへの押圧を解除する押圧手段と、前記ドア保持部に設けられ、真空室内のカセットに収納されている被処理基板を検出するための光センサと、を備え、前記ドアにおいて少なくとも前記光センサの光路に相当する部分は、透明であることを特徴とする真空室のドア装置。
IPC (2件)：
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