特許
J-GLOBAL ID：200903001241965211
液晶表示パネル用基体の平滑化物及び平滑化法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207846
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045639
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 アクテイブマトリックス型液晶表示装置においてMIM薄膜ダイオードと表示電極部を成膜と選択エッチングとを繰り返し実施し、調整用酸化膜の形成を工程中に取り入れることにより素子と表示部の平滑化を行い、ラビング時のゴミによる不良低減と表示品位の向上を図る。【構成】 薄膜ダイオードと表示電極部の段差をなくして、素子全体の平滑化を行う。
請求項（抜粋）：
アクテイブマトリックス型液晶表示パネルのMIM薄膜ダイオードの表示電極部分に平滑化調整用酸化膜を形成したことを特徴とする液晶表示パネル用基体の平滑化物。
IPC (3件)：
G02F 1/1333 505
, G02F 1/136 510
, G09F 9/35
