特許

J-GLOBAL ID：200903001248981948

金属等の光学的表面検査方法および装置

発明者： 沖野 幸利
出願人/特許権者： 東芝ライテック株式会社
代理人 (1件)： 本田 崇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400883
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202113
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 金属等の加工上においてその表面に発生する微細傷等を迅速かつ確実に識別して、高精度の表面検査を行うことができる金属等の光学的表面検査方法および装置を提供する。【解決手段】 圧延もしくは絞り加工された金属等の表面の凹凸状態を検査する光学的表面検査方法において、検査する金属等の表面に明るい部分と暗い部分とを交互に等間隔で配列した縞模様を有する光を照射する照明装置を使用し、前記縞模様の配列方向と圧延もしくは絞り加工する方向とが同じになるように設定する。

請求項（抜粋）：

圧延もしくは絞り加工された金属等の表面の凹凸状態を検査する光学的表面検査方法において、検査する金属等の表面に明るい部分と暗い部分とを交互に等間隔で配列した縞模様を有する光を照射する照明装置を使用し、前記縞模様の配列方向と圧延もしくは絞り加工する方向とが同じになるように設定したことを特徴とする金属等の光学的表面検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  B21C 51/00 ,  G01N 21/892

FI (3件)：

G01B 11/30 Z ,  B21C 51/00 P ,  G01N 21/892 B

Fターム (22件)：

2F065AA54 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF07 ,  2F065FF42 ,  2F065GG18 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL21 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ41 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EB01