特許
J-GLOBAL ID:200903001256957274
多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小杉 佳男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-343524
公開番号(公開出願番号):特開平10-190025
出願日: 1996年12月24日
公開日(公表日): 1998年07月21日
要約:
【要約】【課題】多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型を組立型とすることなく一体型とし、かつ、インゴットの外周部を切断するときのロス分を最小限に留める。【解決手段】多結晶シリコンインゴットを鋳造する容器型鋳型において、側壁にテーパ角θ=0.5度以上3度未満の上方拡大テーパを付し、さらに、鋳型の高さ寸法と鋳型平面の最大差渡し寸法との比H/D=1.5倍以下とする。
請求項(抜粋):
多結晶シリコンインゴットを鋳造する容器型鋳型において、側壁にテーパ角0.5度以上3度未満の上方拡大テーパを付したことを特徴とする多結晶シリコンインゴット鋳造用鋳型。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 31/04 X
, C01B 33/02 E
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