特許
J-GLOBAL ID：200903001259595012
露光装置における光源ランプの位置決め機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-220637
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053121
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 人手に頼ることなく露光領域の照度均一性を確保できる露光装置における光源ランプの位置決め機構を提供する。【構成】 露光ステージ3の上面に取り付けられたもので、露光ステージ3上の露光領域の照度データを得るための照度計5と、照度計5によって得られる照度データを基に露光領域における照度均一性を検出して光源ランプ1の位置ズレ量を算出する演算回路6と、演算回路6によって算出された位置ズレ量を基に光源ランプ1を所定方向に移動させる駆動部7とを備えている。
請求項（抜粋）：
反射板に近接して配置された光源ランプと、前記光源ランプと対向状態に設置された露光ステージと、前記光源ランプと前記露光ステージとの間に配置されたレンズとを備え、前記光源ランプから発せられた光が前記レンズを通して前記露光ステージ上に照射される露光装置において、前記露光ステージの上面に取り付けられたもので、前記露光ステージ上の露光領域の照度データを得るための照度計と、前記照度計によって得られる照度データを基に前記露光領域における照度均一性を検出して前記光源ランプの位置ズレ量を算出する演算回路と、前記演算回路によって算出された位置ズレ量を基に前記光源ランプを所定方向に移動させる駆動部とを具備したことを特徴とする露光装置における光源ランプの位置決め機構。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 S
, H01L 21/30 301 G
