特許

J-GLOBAL ID：200903001260427719

メタルマスク

発明者： 今岡 裕文
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269401
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094328
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 所定領域にマスク部パターンのみを形成できるメタルマスクを提供することを目的とする。【解決手段】 マスク部2と、マスク部2を支持する支持部3と、マスク部2と支持部3とを連結する枠部4とからなり、マスク部2の上方から吹き付けられる研削粒子により、基板8上に密着させた薄膜フィルム7にマスク部2に対応したパターン11形状を形成するために用いられるメタルマスク1において、支持部31、32、33、34は、幅狭く形成されており、かつ薄膜フィルム7と対向する側に研削粒子が入り込むための空隙部61、62、63、64が設けられている。

請求項（抜粋）：

マスク部と、前記マスク部を支持する支持部と、前記マスク部と前記支持部とを連結する枠部とからなり、前記マスク部の上方から吹き付けられる研削粒子により、基板上に密着させた薄膜フィルムに前記マスク部に対応したパターン形状を形成するために用いられるメタルマスクにおいて、前記支持部は、幅狭く形成されており、かつ前記薄膜フィルムと対向する側に前記研削粒子が入り込むための空隙部が設けられたことを特徴とするメタルマスク。