特許
J-GLOBAL ID：200903001264760595
パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
竹本 松司
, 杉山 秀雄
, 湯田 浩一
, 魚住 高博
, 手島 直彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-119425
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294596
出願日： 2006年04月24日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置を提供する。【解決手段】パネルのエッチング製作プロセスの方法及びその装置は、パネルをエッチング作業タンク中に平置き固定し、その後タンク中にそのパネルを浸漬するに充分な適量のエッチング液を注入する。並びにエッチング進行中、そのタンク本体を片側に傾斜させながら円錐形に旋回運動させ、タンク中のエッチング液をタンク本体の傾斜回転に従って流動させて、平置き固定されたタンク内のパネルに対し、往復回転のフラッシング効果を起こし、エッチング効率を加速させる。同時に、その流動によりエッチング液を均一にパネル表面に接触させ、均一なエッチング効果を得るものである。【選択図】 図1
請求項１：
パネルのエッチング製作プロセスの方法は、パネル上に必要な図案を形成するのに用いられ、及び/或いはパネルの薄型化プロセスに用いられ、それはエッチング溶剤とパネル間で進行する化学反応を利用し、パネル上の除去したい材料を除去するものであり、エッチング製作プロセスのステップは以下を包括し、
作業タンクを提供し、
エッチング加工したいパネルをその作業タンク中に平置き固定し、その作業タンク中にそのパネルを浸漬するに充分なエッチング液を提供して、エッチングを進行し、
エッチング進行中、そのタンク本体を片側に傾斜させながら円錐形に旋回運動をさせ、タンク中のエッチング液をタンク本体の傾斜回転に従って流動させ、及び、
その作業タンク中からエッチング液を分離した後、エッチング加工が完成したパネルを取り出すことを特徴とするパネルのエッチング製作プロセスの方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 J
, C23F1/08 104
4K057WA01
, 4K057WB20
, 4K057WE07
, 4K057WH01
, 4K057WM01
, 4K057WM11
, 4K057WM19
, 4K057WM20
, 4K057WN01
, 5F043EE02
, 5F043EE04
, 5F043EE35
