特許
J-GLOBAL ID：200903001275954723
レジスト塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028789
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226240
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 基板にレジストを回転塗布する装置の構造に関し、塗布膜厚の均一性を損なうことなく、基板裏面へのレジスト飛沫付着を防止することを目的とする。【構成】 カップ15と、基板1側方を包囲する跳ね返り防止板14と、内壁リング17と外壁リング18と上面リング19からなってカップ15内を仕切る仕切りリング16とを有する。カップ15の底面にはカップ15と仕切りリング16とが形成するリング状空間Rに通じる排気口15a と仕切りリング16より中心寄りに開口する吸気口15c とを設け、仕切りリング16には外壁リング18に開口する第一の通気口16a と上面リング19の基板1周縁部下方近傍に開口する第二の通気口16b とを設ける。排気口15a からリング状空間Rを強制排気すると、基板1上方とカップ15下方から第二の通気口16b に向かう気流が発生して、レジスト飛沫の基板裏面への回り込みを防ぐ。
請求項（抜粋）：
基板(1) の表面にレジストを回転塗布する装置であって、カップ(15)と、該カップ(15)上方で該基板(1) の側方を包囲する跳ね返り防止板(14)と、内壁リング(17)と外壁リング(18)と上面リング(19)からなって該カップ(15)内を同心円で仕切る仕切りリング(16)とを有し、該カップ(15)は底面に該カップ(15)と該仕切りリング(16)とが形成するリング状空間(R) に通じる排気口(15a) と該仕切りリング(16)より中心寄りに開口する吸気口(15c) とを備え、該仕切りリング(16)は該外壁リング(18)に開口する第一の通気口(16a) と該上面リング(19)の該基板(1) 周縁部下方近傍に開口する第二の通気口(16b) とを備え、該排気口(15a) から該リング状空間(R) を強制排気することにより該基板(1)上方と該カップ(15)下方から該第二の通気口(16b) に向かう気流が発生するように構成されていることを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B05C 11/10
, G03F 7/16 502
