特許

J-GLOBAL ID：200903001290609030

被研磨加工物保持材

発明者： 山田 博行
出願人/特許権者： ニッタ・ハース株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-171069
公開番号（公開出願番号）：特開2005-349502
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】製造時に生じるおそれのある残留歪みを解消した状態で被研磨加工物を保持できる被研磨加工物保持材の提供を解決すべきを提供する。【解決手段】被研磨加工物の保持面を有する多孔質樹脂層を基材シート上に設けた被研磨加工物保持材であって、前記保持面は、所要深さのスリットにより複数個の区画領域に分断されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被研磨加工物の保持面を有する多孔質樹脂層を基材シート上に設けた被研磨加工物保持材であって、 前記保持面は、所要深さのスリットにより複数個の区画領域に分断されている、ことを特徴とする被研磨加工物保持材。

IPC (2件)：

B24B37/04 ,  H01L21/304

FI (2件)：

B24B37/04 E ,  H01L21/304 622J

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体装置の平坦化方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-068508   出願人：株式会社日立製作所