特許

J-GLOBAL ID：200903001296951520

試料検査装置および方法

発明者： 山田 恵三
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300085
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124276
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 スルーホールの底部の絶縁層の層厚も簡単に検出できるようにする。【解決手段】 検査試料101の絶縁層に表面から電子ビームを照射し、検査試料101の裏面に貫通した電流を検出測定する。電子ビームを検査試料101の表面に照射するが、この表面で発生するエネルギでなく裏面に貫通する電流量を検出するので、絶縁層が微細な縦穴の底部に位置するような場合でも層厚が検出される。

請求項（抜粋）：

絶縁層を具備している検査試料を所定位置に保持する試料保持手段と、該試料保持手段に保持された前記検査試料と対向する位置に配置されて電子ビームを発生する電子銃と、該電子銃が発生する電子ビームを外部から印加される電圧により加速させて前記検査試料の表面に照射させるアノード電極と、該アノード電極に一定の電圧を印加する定電圧電源と、電子ビームが表面に照射される前記検査試料の裏面に貫通した電流を検出する検出電極と、該検出電極により検出された電流値を測定する電流計と、を具備している試料検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/302

FI (2件)：

H01L 21/66 C ,  G01R 31/28 L

Fターム (17件)：

2G032AA00 ,  2G032AB00 ,  2G032AD01 ,  2G032AF08 ,  4M106AA01 ,  4M106AA12 ,  4M106AA13 ,  4M106BA02 ,  4M106CA48 ,  4M106DH01 ,  4M106DH16 ,  4M106DH33 ,  4M106DH37 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ01 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-235244