特許

J-GLOBAL ID：200903001302657884

半導体製造ライン制御装置

発明者： アーサー・エル・ヘイガー・ザサード ,  ブライアン・イー・マーチャント ,  ショウピン・チャン ,  キー・ガク・キム
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-099334
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037138
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】優れたフォールトトレラント機能を実現できる半導体製造ライン制御装置を提供する。【構成】通信端末56に接続されたバックアップサーバ102を備える。通信端末56がメインフレーム11,バックアップサーバ102のいずれか一方が故障しても半導体プロセス装置16の連続運転を行うようにメインフレーム11,バックアップサーバ102とを制御するインタセプタモジュールとを備える。

請求項（抜粋）：

複数の半導体プロセス装置を含む半導体製造装置と、前記半導体製造装置に接続された通信端末と、前記通信端末に接続された第1の制御装置とを備え、前記第1の制御装置により前記半導体製造装置の運転を制御することにより半導体装置を製造する半導体製造ライン制御装置において、前記通信端末に接続された第2の制御装置を備え、前記通信端末が、前記第1および第2の制御装置のいずれか一方が故障しても前記半導体製造ラインの連続運転を行うように前記第1および第2の制御装置を制御する予備制御系制御手段とを備えることを特徴とする半導体製造ライン制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  G05B 9/03 ,  G06F 11/20 310