特許

J-GLOBAL ID：200903001305061532

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： 渋谷 眞人 ,  谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208374
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035777
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 開口絞りにおける光量損失を良好に抑えつつ輪帯照明や4極照明のような変形照明を行うことのできる照明光学装置。【解決手段】 焦点距離を変化させることによって光源手段(1、2)からの光束の形状を相似的に変化させて射出するための焦点距離可変光学系(3)と、焦点距離可変光学系からの光束を実質的に輪帯状の光束または基準光軸(AX)に対して偏心した複数の光束に変換してオプティカルインテグレータ(8)へ導くための光束形状変更部材(4)とを備えている。

請求項（抜粋）：

光束を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源からなる二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータにより形成される二次光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、焦点距離を変化させることによって前記光源手段からの光束の形状を相似的に変化させて射出するための焦点距離可変光学系と、該焦点距離可変光学系からの光束を実質的に輪帯状の光束または基準光軸に対して偏心した複数の光束に変換して前記オプティカルインテグレータへ導くための光束形状変更部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

Fターム (10件)：

5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DD03