特許

J-GLOBAL ID：200903001308021043

プレートヒータ及びその製造方法

発明者： 村松 滋子 ,  青沼 伸一朗 ,  大嶋 一之 ,  佐野 幸司 ,  藤田 光広
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244790
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067426
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 均一な加熱を可能とするプレートヒータを提供する。【解決手段】 粒界成分がYX AlY OZ 相のAlN板状焼結体からなる2枚のプレートセグメント2,3がWからなる多孔性の発熱回路4を介在して接合され、この発熱回路の開気孔内にYX AlY OZ 相が存在している。

請求項（抜粋）：

粒界成分がYX AlY OZ 相のAlN板状焼結体からなる2枚のプレートセグメントがWからなる多孔性の発熱回路を介在して接合され、この発熱回路の開気孔内にYX AlY OZ 相が存在していることを特徴とするプレートヒータ。

IPC (3件)：

H05B 3/14 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/20 328

FI (3件)：

H05B 3/14 B ,  H01L 21/324 K ,  H05B 3/20 328

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭62-171964
  
• 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-035245   出願人：株式会社東芝
• 特開平2-258686
  
• 特公平3-069874