特許
J-GLOBAL ID：200903001310779719
表面検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287958
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132528
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 光検出器の性能を十分に引き出して高精度に検査できる表面検査装置を提供する。【解決手段】 光検出器15と偏向走査手段6、8との間の光路上に位置した光偏向器21とこの光偏向器21を制御する制御手段22とを有して前記光検出器15に入射する反射光18の収束位置を補正する収束位置補正手段21、22を備えた。
請求項（抜粋）：
レーザ光発生手段と、このレーザ光発生手段からのレーザ光を偏向させて被検査物表面を走査する偏向走査手段と、被検査物表面からの反射光を検出する光検出器と、前記偏向走査手段と被検査物との間に位置し、前記偏向走査手段で偏向走査されたレーザ光を集光して前記被検査物表面に垂直に照射すると共に、前記反射光を照射光に対しある傾いた光路で収束し前記偏向走査手段をほぼ逆行させて前記光検出器の検出面上に集光させる走査用レンズ系とを備えた表面検査装置において、前記光検出器と前記偏向走査手段との間の光路上に位置した光偏向器とこの光偏向器を制御する制御手段とを有して前記光検出器に入射する前記反射光の収束位置を補正する収束位置補正手段を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
G01B 11/24 C
, G01B 11/30 Z
, G01N 21/88 F
