特許
J-GLOBAL ID：200903001321351524
シリコン処理廃液から硝酸を回収する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116117
公開番号（公開出願番号）：特開平9-302483
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：
【要約】【解決課題】シリコン処理廃液から硝酸を効率的に連続回収する方法の提供。【手段】 硝酸とフッ酸を主成分とするシリコン処理廃液を蒸留して硝酸を回収する方法であって、蒸留塔において濃度60重量%以上の硝酸を加熱還流させつつ塔中間部からシリコン処理廃液を連続的に導入し、塔頂から廃液中の低沸点成分をフッ酸と共に留出させ、塔底から硝酸を連続回収することを特微とするシリコン処理廃液からの硝酸回収方法。
請求項（抜粋）：
硝酸とフッ酸を主成分とするシリコン処理廃液を蒸留して硝酸を回収する方法であって、蒸留塔において濃度60重量%以上の硝酸を加熱還流させつつ塔中間部からシリコン処理廃液を連続的に導入し、塔頂から廃液中の低沸点成分をフッ酸と共に留出させ、塔底から硝酸を連続回収することを特微とするシリコン処理廃液からの硝酸回収方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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