特許

J-GLOBAL ID：200903001346950740

静電吸着装置及び静電吸着方法

発明者： 大倉 英一郎 ,  豊田 正人
出願人/特許権者： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-000660
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183043
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 プラズマの放電,無放電にかかわらずウエハを試料台に確実に吸着させることができ、かつウエハの試料台からの離脱を迅速にできる静電吸着装置を得ることを目的とする。【構成】 試料台1には直流電源2から直流電圧が印加される。ウエハ4には接地電極6から常に接地電位が印加される。ウエハ4と試料台1との間に電位差が生じてウエハ4は静電的に試料台1に固定される。そのため、プラズマの放電,無放電にかかわらずウエハを試料台に静電的に固定でき、ウエハに蓄積された残留電荷を除去でき、かつウエハの電位を一定に保つことができる。【効果】 ウエハを試料台に確実に吸着させることができ、かつウエハの試料台からの離脱を迅速にできる。

請求項（抜粋）：

直流電圧が印加されている試料台にウエハを静電的に固定する静電吸着装置において、前記ウエハに所定電圧を印加するための電圧印加手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302