特許
J-GLOBAL ID：200903001350766288
検査基体の面欠陥検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川崎 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318515
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148619
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 検査基体の面に存在するヘヤーライン状のキズ欠陥のように比較的光量変化の少ない微細な欠陥をも検出する。【解決手段】 検査基体11を所定速度で連続的に搬送する搬送手段21と、搬送される検査基体11の表裏両面12、13の各特定位置に光源31a、31bからの直線帯状の照射光32a、32bを所定入射角度で照射する照射手段と、各被照射面の面欠陥によって発生する散乱光34a、34bを捉えて電気信号に変換する一次元CCDカメラ41a、41bと、各面欠陥検出信号を処理する欠陥信号処理器42a、42bと、表面側面欠陥検出信号の特徴量と裏面側面欠陥検出信号の特徴量とを比較して検査基体11の表面側12と裏面側13とを判別するマイクロコンピュータ43とを備える。
請求項（抜粋）：
表裏両面を有する検査基体の面に直線帯状の照射光を照射した状態で、該照射光による直接光あるいは反射光以外に、被照射面の面欠陥によって発生する散乱光を一次元CCDカメラで採光して検出し、該被照射面の面欠陥の有無を検出する検査方法において、前記検査基体の表裏双方の面にそれぞれ直線帯状の照射光を照射した状態で、該表裏双方の被照射面の各面欠陥によって発生する散乱光をそれぞれに各別の一次元CCDカメラで採光して表裏それぞれの面欠陥検出信号を得ると共に、表面側一次元CCDカメラによって得た表面側面欠陥検出信号の特徴量と裏面側一次元CCDカメラによって得た裏面側面欠陥検出信号の特徴量とを比較し、検出された面欠陥が表面側の面欠陥であるか裏面側の面欠陥であるかを判断することを特徴とする検査基体の面欠陥検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 F
, G01B 11/30 C
