結晶成長用ガスクラッキングセル

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225026
公開番号（公開出願番号）：特開平6-056578
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 MBE( Moleculer Beam Epitaxy )装置に使用して好適な、原料ガスの熱分解効率を向上させた結晶成長用ガスクラッキングセルを提供する。【構成】原料ガス(アンモニアガス)を熱分解する容器体3と、容器体3内に配設された熱分解バッフル7a,7bとからなり、熱分解バッフルを原料ガスの熱分解を促進する金属触媒(プラチナ)で形成し、また、熱分解バッフルを発熱体とする。原料ガスは所定の熱分解温度に加熱され、金属触媒により効率的に熱分解されて(結晶基板に)供給される。

請求項（抜粋）：

原料ガスを熱分解する容器体と、前記容器体内に配設された熱分解バッフルとからなるガスクラッキングセルにおいて、前記熱分解バッフルを前記原料ガスの熱分解を促進する金属触媒で形成したことを特徴とする結晶成長用ガスクラッキングセル。

IPC (3件)：

C30B 23/08 , C23C 14/24 , H01L 21/203

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