特許
J-GLOBAL ID：200903001360868526
表面検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034390
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243988
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 比較的簡単な構造で照明むらがなく、輝度の強い照明光を発生することができ、被検査物の表面検査を適確に行うことができる表面検査装置を提供する。【構成】 複数のレーザ光源1から発生する指向性の強い各スポット光は、被検査物3の表面3aにおいてライン状に照明むらがないように各隣接するもの同志が部分的に互いに重なり合い、被検査物の表面に対して所定の角度で投光され、この投光された各スポット光の表面からの反射光を受光部11で受光している。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に光を照射して表面検査を行う表面検査装置において、前記被検査物の表面において各隣接するもの同志が部分的に互いに重なり合う複数の指向性の強いスポット光を被検査物の表面に対して所定の角度で投光する光源手段と、該光源手段からの各スポット光の前記表面からの反射光を受光する受光手段とを有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
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