特許
J-GLOBAL ID：200903001363548727
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311367
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133266
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 角速度センサの感度が制限されるという課題があった。【解決手段】 駆動フレーム5と被駆動フレーム2とを別個に設け、被駆動フレーム用ねじれ梁4の近傍でリンク梁7を用いてそれらを接続する。
請求項（抜粋）：
慣性質量と、該慣性質量を囲む被駆動フレームと、上記慣性質量と該被駆動フレームとを接続し、該慣性質量をその対向する2箇所で回転可能に支持する慣性質量用ねじれ梁と、上記被駆動フレームをその対向する2箇所で回転可能に支持する被駆動フレーム用ねじれ梁と、該被駆動フレーム用ねじれ梁を基準とした上記被駆動フレームの片側外周を囲む駆動フレームと、該駆動フレームをその面外方向に曲げ振動させる駆動力を該駆動フレームに与える駆動力発生手段と、上記被駆動フレームと上記駆動フレームとを接続するリンク梁と、上記慣性質量の回転振動の変位振幅を検出する検出手段とを備えた角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105BB05
, 2F105BB08
, 2F105BB13
, 2F105BB20
, 2F105CC04
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
