特許

J-GLOBAL ID：200903001364701286

被処理体の搬送機構及び処理システム

発明者： 増岡 昇
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-327287
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134587
出願日： 2000年10月26日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 高速搬送ができ、しかも、被処理体の位置ずれも生ずることのない被処理体の搬送機構を提供する。【解決手段】 薄い板状の被処理体Wを搬送するために比較的長い共通搬送エリア6内に設けられた搬送機構40において、前記共通搬送エリアの長手方向に沿って設けられる案内レール42と、前記案内レールに沿って移動可能になされた移動体44Aと、前記移動体に設けられて、前記被処理体の周縁部の下側角部に係合される断面L字状の係合段部82,84を有する複数の被処理体支持支柱80とを備える。これにより、被処理体を上記係合段部により保持することにより、高速搬送ができ、しかも、被処理体の位置ずれが生ずることも防止する。

請求項（抜粋）：

薄い板状の被処理体を搬送するために比較的長い共通搬送エリア内に設けられた搬送機構において、前記共通搬送エリアの長手方向に沿って設けられる案内レールと、前記案内レールに沿って移動可能になされた移動体と、前記移動体に設けられて、前記被処理体の周縁部の下側角部に係合される断面L字状の係合段部を有する複数の被処理体支持支柱とを備えたことを特徴とする被処理体の搬送機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 D ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/304 648 A

Fターム (22件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031GA13 ,  5F031GA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA58 ,  5F031GA59 ,  5F031GA60 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA02 ,  5F031PA26