特許

J-GLOBAL ID：200903001364964996

光記録媒体用マスタースタンパの製造方法

発明者： 三東 剛 ,  湯浅 俊哉 ,  上高原 弘文 ,  菅田 裕之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124672
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311983
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 光記録媒体用基板作製用スタンパーのマスタースタンパを平面精度良く製造する方法を提供する。【構成】 ガラス基板3上にクロム4の薄膜を形成し、該クロム膜をフォトリソグラフィーを用いてエッチング処理してパタ-ンを形成した後、前記ガラス基板3側に紫外線硬化型接着剤2を用いて補強ガラス1を接着して裏打ち補強する光記録媒体用マスタースタンパの製造方法において、前記ガラス基板3と補強ガラス1を紫外線硬化型接着剤2を介して積層し、補強ガラス1側から紫外線7を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させる光記録媒体用マスタースタンパの製造方法。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上にクロム膜を形成し、該クロム膜をフォトリソグラフィーを用いてエッチング処理してパタ-ンを形成した後、前記ガラス基板側に紫外線硬化型接着剤を用いて補強ガラスを接着して裏打ち補強する光記録媒体用マスタースタンパの製造方法において、前記ガラス基板と補強ガラスを紫外線硬化型接着剤を介して積層し、補強ガラス側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させることを特徴とする光記録媒体用マスタースタンパの製造方法。