特許
J-GLOBAL ID:200903001371612078

フレームワークを援用した結晶成長

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (11件): 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  藤野 育男 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高梨 憲通 ,  朝日 伸光 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-296966
公開番号(公開出願番号):特開2004-196645
出願日: 2003年08月21日
公開日(公表日): 2004年07月15日
要約:
【課題】単結晶フィルムの材料を提供すること。【解決手段】結晶を成長する方法が、固体構造の集まりを備える3Dフレームワークを提供する工程と、液体出発材料を3Dフレームワークの個々の固体構造の周囲および間に流し込む工程とを含む。方法はまた、液体出発材料の特性を調節することにより、固体構造の集まりによって単結晶を成長させることを含む。【選択図】図2
請求項1:
固体構造の集まりを有する3Dフレームワークを提供すること、 液体出発材料を前記3Dフレームワークの前記個々の固体構造の周囲および間に流し込むこと、および 前記液体出発材料の特性を調節することにより、前記固体構造の集まりによって単結晶を成長させることを含む、結晶を成長する方法。
IPC (9件):
C30B7/14 ,  C01F11/18 ,  C30B29/10 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  H01L21/208 ,  H01L21/368
FI (10件):
C30B7/14 ,  C01F11/18 G ,  C30B29/10 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  H01L21/208 D ,  H01L21/368 L ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/12 N ,  G02B6/12 M
Fターム (31件):
2H047PA02 ,  2H047PA06 ,  2H047QA01 ,  2H047QA05 ,  2H049AA02 ,  2H049AA33 ,  2H049AA44 ,  2H049AA65 ,  2H049BA05 ,  2H049BA42 ,  2H049BA45 ,  4G076AA16 ,  4G076AB04 ,  4G076BA29 ,  4G076BA41 ,  4G076BC10 ,  4G076CA34 ,  4G076DA30 ,  4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077AA04 ,  4G077BD10 ,  4G077CB02 ,  4G077ED04 ,  4G077EG25 ,  5F053AA50 ,  5F053BB60 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053GG01 ,  5F053LL10

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