特許
J-GLOBAL ID:200903001371612078
フレームワークを援用した結晶成長
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (11件):
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 藤野 育男
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 高梨 憲通
, 朝日 伸光
, 高橋 誠一郎
, 吉澤 弘司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-296966
公開番号(公開出願番号):特開2004-196645
出願日: 2003年08月21日
公開日(公表日): 2004年07月15日
要約:
【課題】単結晶フィルムの材料を提供すること。【解決手段】結晶を成長する方法が、固体構造の集まりを備える3Dフレームワークを提供する工程と、液体出発材料を3Dフレームワークの個々の固体構造の周囲および間に流し込む工程とを含む。方法はまた、液体出発材料の特性を調節することにより、固体構造の集まりによって単結晶を成長させることを含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
固体構造の集まりを有する3Dフレームワークを提供すること、
液体出発材料を前記3Dフレームワークの前記個々の固体構造の周囲および間に流し込むこと、および
前記液体出発材料の特性を調節することにより、前記固体構造の集まりによって単結晶を成長させることを含む、結晶を成長する方法。
IPC (9件):
C30B7/14
, C01F11/18
, C30B29/10
, G02B5/18
, G02B5/30
, G02B6/12
, G02B6/13
, H01L21/208
, H01L21/368
FI (10件):
C30B7/14
, C01F11/18 G
, C30B29/10
, G02B5/18
, G02B5/30
, H01L21/208 D
, H01L21/368 L
, G02B6/12 Z
, G02B6/12 N
, G02B6/12 M
Fターム (31件):
2H047PA02
, 2H047PA06
, 2H047QA01
, 2H047QA05
, 2H049AA02
, 2H049AA33
, 2H049AA44
, 2H049AA65
, 2H049BA05
, 2H049BA42
, 2H049BA45
, 4G076AA16
, 4G076AB04
, 4G076BA29
, 4G076BA41
, 4G076BC10
, 4G076CA34
, 4G076DA30
, 4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077AA04
, 4G077BD10
, 4G077CB02
, 4G077ED04
, 4G077EG25
, 5F053AA50
, 5F053BB60
, 5F053DD20
, 5F053FF01
, 5F053GG01
, 5F053LL10
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