特許
J-GLOBAL ID：200903001383492493
気体漏洩検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-120231
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300624
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 短時間でも正確に気体漏洩を検査できるようにし、インラインへの適用性を高める。【解決手段】 被検査物Wと漏れのないマスタMとに切換弁2を開いて空気圧源1から圧縮空気を供給し、切換弁2を閉じた後、被検査物WとマスタMとの差圧を検出する差圧センサ18、被検査物W内の絶対圧力を検出する圧力センサ19、被検査物W内の空気の温度を検出する温度センサ20の信号を演算装置22に取り込んで、所定の計算式に基づいて最終の検出行程中の温度変化を予測し、この予測結果に基づいて求めた補正量により、検出行程で検出した差圧変化を補正する。
請求項（抜粋）：
被検査物とマスタとに加圧気体を封じ込める加圧行程、気体の供給を止めて被検査物とマスタとの圧力を安定させる平衡行程、およびマスタと被検査物との差圧変化から被検査物の漏れを検出する検出行程を順に実行する気体漏洩検査方法において、前記平衡行程中における被検査物内の気体の温度変化を計測して、この計測結果に基づいて前記検出行程中の温度変化を予測し、かつこの予測結果に基づいて求めた補正量により前記差圧変化を補正することを特徴とする気体漏洩検査方法。
FI (2件)：
G01M 3/26 K
, G01M 3/26 A
