特許

J-GLOBAL ID：200903001387783930

位置検出方法及びその装置並びに露光装置

発明者： 白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058488
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242041
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 基板上に形成されたマークの位置をより短時間で且つ高精度に検出する。【解決手段】 基板上のマークを光電検出し、検出した光電信号(図3(A)のSigA)とそのシフト信号(図3(C)のSigR、図3(B)のSigL)との加算信号(図3(D)のSigS)を作成した後、その加算信号(SigS)と基準信号(図3(E)のTmp)との相互相関を求め、その相関値が極大(又は極小)となる位置をマーク位置として検出する。このため、ピークの数が少なく検出方向の幅の狭い基準信号を使用することが可能となり、相互相関の算出に際しての積和演算の回数が、マークの数と同じピーク数で同じ繰り返し周期の基準信号を用いていた場合に比べて減少し、マーク位置の検出に際して、演算時間の短縮が可能になる。

請求項（抜粋）：

基板上に検出方向とほぼ直交する方向に伸びて形成されるパターンが前記検出方向に沿って所定の繰り返し周期で配置されて成るマークの位置を所定の基準信号を用いて検出する位置検出方法であって、前記マークに光を照射して、前記検出方向に関する光電信号を検出する工程と;前記検出した光電信号と、該光電信号を前記所定の繰り返し周期だけ前記検出方向にずらしたシフト信号とを加算して加算信号を作成する工程と;前記加算信号と所定の基準信号との相関値に基づいて、前記マークの位置を検出する工程とを含むことを特徴とする位置検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 525 E ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H