特許
J-GLOBAL ID：200903001408197734
マイクロ波励起ガスレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
粟野 重孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237593
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064443
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 高出力レーザ加工をロボットで行う場合、伝送用ミラーが必要であり、また、ミラーをロボットの動きに合わせて微調整する必要があるという課題点を解決し、伝送用ミラーを削減するマイクロ波励起ガスレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザ光を取り出す出力鏡6、出力鏡6と共に光を多重増幅帰還させる終段鏡7、出力鏡6を保持するメインフランジ8、レーザガスを排出し、終段鏡7を保持する排気ブロック9である。出力鏡6と終段鏡7により光共振器を構成し、光共振器はメインフランジ8、排気ブロック9を介してアーム16a上に構成し、光共振器の光学ベンチとしてアーム16aを用いていることにより、伝送用ミラーを削減するマイクロ波励起ガスレーザ装置を提供することができる。
請求項（抜粋）：
励起媒質であるレーザガスと、放電管を有する放電区域と、光を多重増幅帰還する光共振器の一構成要素である出力鏡及び終段鏡と、励起に必要なエネルギーを供給する電源及びマグネトロンと、前記エネルギーの伝送手段である導波管と、ロボットの一構成要素であるアームを備え、前記アームに前記光共振器を搭載したマイクロ波励起ガスレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 C
, H01S 3/09 Z
