特許
J-GLOBAL ID：200903001423019451
ヘテロダイン干渉測長器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276468
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129812
出願日： 1992年10月15日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】距離測定用光学系で測定される距離データから半導体レーザの発振波長やビート周波数の揺らぎに起因する誤差を補正することを可能としたヘテロダイン干渉測長器を提供するにある。【構成】ハーフミラー12で反射されて補助光学系の偏光ビームスプリッタ44 に入射した光は再びν1 、ν2 の別々の周波数遷移を受けた2つの光束path5、path6 に分けられる。光束path5 の光は偏光ビームスプリッタ45 に入射し、光束path6 の光はミラー154 、155 で反射されて偏光ビームスプリッタ45で光束path6 の光と再び重なり、偏光板82 を介してフォトダイオード92 に入射し、フォトダイオード92 上で補正用ビート信号I12として観測される。
請求項（抜粋）：
半導体レーザより出射した光から直交する偏光を持つ2つの光束に第1の偏光ビームスプリッタで分けて各光束を夫々に対応する第1、第2の音響光学変調器に入射して異なる周波数で周波数遷移を受けさせ、この周波数遷移を受けた光束の光を光路長が同一光路長となるようにして第2の偏光ビームスプリッタに入射し、第2の偏光ビームスプリットから同一光路を通る光束として出射される光束を距離測定用の光学系へ送って半導体レーザの波長シフトを用いてヘテロダイン干渉により物体までの距離を求めるヘテロダイン干渉測長器において、上記第2の偏光ビームスプリッタから出射する光を、再び直交する偏光を持つ2つの光束に分ける第3の偏光ビームスプリッタと、分けた光束に光路差を持たせる光学系と、この光学系で光路差を持った2つの光束を重ねる第4の偏光ビームスプリッタと、第4の偏光ビームスプリッタから出射する2つの光束の光を干渉させる偏光板と、この偏光板を通じて2つの光束の光を受光してビート信号を補正用ビート信号として出力する受光素子とからなる補正用光学系を備えたことを特徴とするヘテロダイン干渉測長器。
引用特許：
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