特許
J-GLOBAL ID:200903001427931473

希釈器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 敏忠 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-282910
公開番号(公開出願番号):特開平6-130045
出願日: 1992年10月21日
公開日(公表日): 1994年05月13日
要約:
【要約】【目的】 残留したガスが試料ガス及び不活性ガスに混入する事が無く、希釈度も正確に調節する事が出来るような希釈器の提供。【構成】 試料ガスの供給源(S)と連通する試料ガス供給手段(38、39)と、不活性ガス供給手段(50)と、真空引き用吸引手段(52)と、希釈された試料ガスを分析手段(20)に供給する送出手段(IL)と、試料ガスを処理する処理手段(46)と、試料ガスや不活性ガスの供給や排出を調整するための開閉手段(AV1-A、AV-6、PCV-1、AV1-B、AV-3、AV-4、AV-5、PCV-2、AV2-A、AV2-B、REG-1、MV-3、MV-1、MV-2、CV-1、PG-1、PG-2、CV-2)と、試料ガスと不活性ガスとを一時的に貯留して混合するための一時貯留手段(SL)、とを含んでいる。
請求項(抜粋):
希釈するべき試料ガスの供給源と連通する試料ガス供給手段と、希釈用の不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、真空引き用の吸引手段と、希釈された試料ガスを分析手段に供給する希釈ガス送出手段と、剰余分の試料ガスを処理する処理手段と、試料ガスや不活性ガスの供給や排出を調整するための開閉手段と、該開閉手段の作動用流体を供給する作動用流体供給手段と、試料ガスと不活性ガスとを一時的に貯留して混合するための一時貯留手段、とを含んだ事を特徴とする希釈器。
IPC (2件):
G01N 30/06 ,  G01N 1/28
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-214255
  • 特開昭60-214255

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