特許

J-GLOBAL ID：200903001430367490

基板ホルダー及び成膜装置

発明者： 高倉 英夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-188154
公開番号（公開出願番号）：特開2008-013828
出願日： 2006年07月07日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

【課題】基板に対して成膜を行う際に、膜厚の測定精度を向上させる。【解決手段】基板上に薄膜を形成するために該基板を保持する基板ホルダー10において、基板の被成膜面と同一側に水晶発振式膜厚センサー13を設ける。基板ホルダー10は、マスクフレーム11と、このマスクフレーム11に溶接固定されたシャドーマスク12とを備えている。基板ホルダー10は、水晶発振式膜厚センサー13から電気信号を取り出す接触接点15を備えている。基板ホルダー10は、少なくとも一辺が300mm以上の基板を保持する際に好適に用いられる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に薄膜を形成するために該基板を保持する基板ホルダーにおいて、 前記基板の被成膜面と同一側に膜厚センサーが設けられていることを特徴とする基板ホルダー。

IPC (3件)：

C23C 14/50 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/50 F ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (18件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029EA01 ,  4K029HA01 ,  4K029JA01 ,  4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特公昭64-3946号公報
  
• 水晶発振式膜厚モニタ用センサヘッド及びこれを用いた膜厚のモニタ方法。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339436   出願人：株式会社アルバック