特許
J-GLOBAL ID：200903001430608659
ガス導入配管装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288225
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 前プロセスでの使用ガスの次のプロセスでの使用ガス中への混入量を従来よりも著しく減少させることが可能なガス導入配管装置を提供すること【構成】 上流側端にガスを導入するためのガス導入口が形成され、下流側端にバルブを有する複数のガス導入ラインと、下流側端がユースポイントに連通し、ユースポイントにおいて使用される組成が異なる複数の使用ガスが順次通過する共通ガスラインと、を有し、前記ガス導入ラインのうち、混合しようとするガスを導入するためのガス導入ライン同士が、その下流側端において、混合部を形成して相互に接続され、前記共通ガスラインの上流側端は、前記混合部及び他のガス導入ラインの下流側端に接続されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
上流側端にガスを導入するためのガス導入口が形成され、下流側端にバルブを有する複数のガス導入ラインと、下流側端がユースポイントに連通し、ユースポイントにおいて使用される組成が異なる複数の使用ガスが順次通過する共通ガスラインと、を有し、前記ガス導入ラインのうち、混合しようとするガスを導入するためのガス導入ライン同士が、その下流側端において、混合部を形成して相互に接続され、前記共通ガスラインの上流側端は、前記混合部及び他のガス導入ラインの下流側端に接続されていることを特徴とするガス導入配管装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/205
, F16L 55/07 A
