特許
J-GLOBAL ID：200903001432073302
気流搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128933
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340333
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 板状体を目的の停止位置に高精度で短時間に位置決めすることが可能な気流搬送技術を提供する。【構成】 ウェハ2の移送経路に沿って敷設されたノズル板3と、このノズル板3に設けられたウェハ浮上用ノズル4と、ノズル板3におけるウェハ2の位置決め位置に配置され、ウェハ2の進行方向を互いに逆方向に変更するように高清浄度の窒素ガスをウェハ2の下面に噴射供給する複数の制御用ノズル5aおよび制御用ノズル5bと、ウェハ2の停止位置を取り囲む位置に配置され、ノズル板3内に引込み自在に垂直に配置された複数の位置決めピン6と、ウェハ2の周辺部を下側から支持するウェハ保持ピン7とを備え、制御用ノズル5aおよび制御用ノズル5bのバランス制御による位置決めピン6への当接動作によって、ウェハ2の位置決めを行う気流搬送装置である。
請求項（抜粋）：
移送路に配置された第1のノズルから噴射される流体の流体力によって板状体を浮上させ、非接触に移送する気流搬送装置であって、前記移送路における前記板状体の位置決め位置に配置された位置決め部材と、前記位置決め位置における前記板状体の移動方向および移動量および移動速度の少なくとも一つを流体力によって制御することにより、前記位置決め部材に対する前記板状体の位置決め動作を行う第2のノズルとを備えたことを特徴とする気流搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 51/03
, B65G 49/07
, B65H 5/22
, H01L 21/68
