特許
J-GLOBAL ID：200903001439757975
弾性表面波装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-373164
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176332
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】 簡単に、且つ測定精度良く、電極線幅を測定することができる弾性表面波装置を提供する。【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板と圧電基板の上にパターニングされた金属電極膜とからなる。金属電極膜の一部に、金属電極膜の線幅を測定するための線幅測定用パターン1を有する。線幅測定用パターン1は、底辺3が一直線6上に配置された複数の先細りパターン2からなる。先細りパターン2は、線分状の底辺3と底辺3の両端から延ばされた側辺(4、5)とを有し、側辺(4、5)の間隔は、底辺3から離れるにしたがって狭くなっている。パターニング後の先細りパターン2の底辺3からの高さと電極線幅との間の線形関係を用いて、底辺3からの高さを測定することで電極線幅を間接的に測定することができる。
請求項（抜粋）：
圧電基板と、当該圧電基板の上にパターニングされた金属電極膜とからなる弾性表面波装置において、前記金属電極膜の一部に、当該金属電極膜の線幅を測定するため、底辺が一直線上に配置された複数の先細りパターンからなる線幅測定用パターンを含むことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
5J097AA32
, 5J097DD01
, 5J097DD27
, 5J097HA02
, 5J097HB08
, 5J097KK01
