特許

J-GLOBAL ID：200903001449439203

座標測定機

発明者： 青木 保夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277069
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114442
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】 Z軸スピンドルの変形を抑制し、Z軸スピンドルの真直精度の悪化を防ぐ。【構成】 エアベアリング26a〜26dに供給される高圧空気と同温の高圧空気を中空のZ軸スピンドル8内に供給することによって、Z軸スピンドル8の外壁面と内壁面とに温度差が生じないようにし、Z軸スピンドル8が例えば樽形や糸巻き形に変形するのを防ぐようにした。

請求項（抜粋）：

測定物を載置する定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部材間に架け渡されたXビームとで構成され、Y軸方向へ移動可能な構造体と、測定子を有する中空構造のZ軸スピンドルと、前記Z軸スピンドルをZ軸方向へ移動可能に支持するエアベアリングを有するキャリッジとを備えた座標測定機において、前記Z軸スピンドル内に前記エアベアリングに供給される空気とほぼ同温の空気を供給する空気供給手段を備えていることを特徴とする座標測定機。