特許
J-GLOBAL ID:200903001452676674

ターゲット材用Al系合金とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-129411
公開番号(公開出願番号):特開平10-317082
出願日: 1997年05月20日
公開日(公表日): 1998年12月02日
要約:
【要約】【課題】 鋳塊合金中の水素含有量を減少させ、ターゲットに加熱を施してもブリスタの発生がなく、鋳塊中のAlとAl-高融点金属の金属間化合物との均一微細に分散したターゲット材用Al系合金とその製造方法を提供する。【解決手段】 例えばTiなどの高融点金属を0.1〜5重量%含み、水素含有量が5ppm以下であるターゲット材用Al系合金。また、高融点金属を0.1〜5重量%含むターゲット材用Al系合金の溶解鋳造法による製造方法において、溶解を1×10-2Torr以上の真空雰囲気中で行い、鋳造をその溶湯組成の液相温度より1〜50°C高い溶湯温度にて、不活性ガス雰囲気、または、真空雰囲気、または、不活性ガスを含む減圧雰囲気で行うことを特徴とするターゲット材用Al系合金の製造方法。
請求項(抜粋):
高融点金属を0.1〜5重量%含み、水素含有量が5ppm以下であるターゲット材用Al系合金。
IPC (4件):
C22C 21/00 ,  C22C 1/02 503 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/85
FI (4件):
C22C 21/00 N ,  C22C 1/02 503 J ,  C23C 14/34 A ,  G11B 5/85 C

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