特許
J-GLOBAL ID：200903001455621706
試料ホルダ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130678
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327570
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 表面分析などを行う分析装置を用いて試料の表面分析などを行う分析面の高さ位置を正確に微小調整できる試料ホルダを得ること。【構成】 試料の断面などの分析面を観察する本発明の試料ホルダ1は、基台11の下面から試料Sの高さ調整用の雄ねじからなる上下動微細調節装置5を設け、この上端面に試料載置台2を取り付け、これに試料Sを載置し、試料固定板14にスプリング16の弾性力で押圧される試料抑え板18で押圧しながら保持し、上下動微細調節装置5を微細に回動させることにより、装着した試料Sの分析面を基準とする高さ規制薄板15に水平面に高さ合わせを行うように構成されている。
請求項（抜粋）：
水平基準となる水平面が形成された基台と、前記基台の一端部に前記水平面に垂直に形成された基準垂直面が形成された固定板と、前記固定板の上端に、その基準垂直面に対して直角に、そして一体的に形成された高さ規制薄板と、前記基台の水平面上に設けられ、前記固定板の基準垂直面に一端縁を摺動しながら、前記基台の水平面に平行に上下動でき、前記基台の面積より小なる面積の試料載置台と、前記試料載置台の下方に在り、前記基台の下面から貫通して設けられ、前記試料載置台を微細に上下動させる上下動微細調節装置と、前記固定板の垂直面に試料を押圧する試料抑え板と、前記試料抑え板の背面に一端が固定され、他端が前記基台の他端部に形成された固定部材に遊嵌した杆と、前記試料抑え板の背面と前記固定部材との間の前記杆に装着されたコイル状スプリングとから構成されているとを特徴とする試料ホルダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/227
, G01N 1/28 W
