特許
J-GLOBAL ID：200903001456279637
バンプの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-133417
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330309
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 ワークの電極の表面に生じた酸化膜によるバンプと電極の接着不良や導通不良を解消でき、またコストダウンを図れるバンプの形成方法を提供することを目的とする。【構成】 チップ12の電極13を嫌気性の導電ペースト14中に浸す。導電ペースト14は、空気を遮断されると、特に金属である電極13に接触する部分から速やかに硬化し、バンプ14aになる。そこでチップ12を引き上げれば、バンプ14aを有するフリップチップが完成する。
請求項（抜粋）：
嫌気性の導電ペースト中にワークの電極を浸し、この電極に接触する前記導電ペーストを硬化させることを特徴とするバンプの形成方法。
FI (3件)：
H01L 21/92 603 C
, H01L 21/92 602 Z
, H01L 21/92 604 E
