特許
J-GLOBAL ID：200903001462321076
耐熱性熱電変換素子とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346702
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173244
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 大気中で700〜900°Cの高温で長時間放置した場合でも熱電変換特性の劣化が極めて少なく、極めて安定した熱電変換特性を有する耐熱性熱電変換素子の提供。【解決手段】 高温帯城の熱電変換素子において酸化し易い半導体素子の耐候性、耐熱性を向上させて、熱電変換素子の熱起電力特性を安定化させるために、素子の表面に設けたTi被膜の上に、特定条件のArガスとN2ガスとの混合ガスを導入しながらイオンプレーティング等の薄膜形成法を行ってN2濃度が連続的に増加する窒素拡散被膜を介してTiN被膜層を設ける。
請求項（抜粋）：
熱電変換素子材料の表面に、Ti被膜を介してTiN被膜が形成され、前記Ti被膜面に熱電変換素子材料側よりTiN被膜に向かってN2濃度が増加する少なくとも膜厚0.05μmのN拡散層(組成TiNx)を有する耐熱性熱電変換素子。
IPC (3件)：
H01L 35/32
, H01L 35/14
, H02N 11/00
H01L 35/32 A
, H01L 35/14
, H02N 11/00 A
